ใช้ในอุตสาหกรรมเคมีเป็นสารตั้งต้นในการผลิตซิลิโคนและสารประกอบซิลิคอนอื่น ๆ ที่มีคุณสมบัติทนต่อความร้อนและน้ำ มักใช้ในการเคลือบผิววัสดุเพื่อให้กันน้ำและลดแรงตึงผิว นิยมใช้ในกระบวนการผลิตวัสดุเซรามิกส์ ไฟเบอร์กลาส และวัสดุอิเล็กทรอนิกส์ที่ต้องการพื้นผิวที่ไม่ดูดซับความชื้น นอกจากนี้ยังใช้เป็นตัวปรับปรุงผิวในสูตรสารเคลือบและกาว เพื่อเพิ่มการยึดติดและทนต่อสภาพแวดล้อม