ใช้เป็นสารตั้งต้นในกระบวนการสังเคราะห์วัสดุซิลิโคนที่มีโครงสร้างเฉพาะ โดยเฉพาะในงานผลิตสารเคลือบผิวที่ต้องการความทนทานต่อความร้อนและความชื้น นิยมใช้ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์เพื่อทำเป็นชั้นกันความชื้นบนแผงวงจร เพราะช่วยป้องกันการกัดกร่อนจากสิ่งแวดล้อม ยังใช้เป็นสารเชื่อมผิว (coupling agent) ในการปรับปรุงการยึดติดระหว่างวัสดุอนินทรีย์กับอินทรีย์ เช่น ในเรซินคอมโพสิตหรือกระจกไฟเบอร์ นอกจากนี้ยังมีบทบาทในกระบวนการสร้างฟิล์มบางที่มีความโปร่งใสและทนต่อรังสี UV จึงเหมาะสำหรับผลิตภัณฑ์ที่ต้องสัมผัสแสงแดดเป็นเวลานาน