ใช้ในอุตสาหกรรมเคมีเป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์สารประกอบซิลิโคนที่มีโครงสร้างพิเศษ โดยเฉพาะในกระบวนการผลิตโพลีเมอร์ที่ต้องการคุณสมบัติทนต่อความร้อนและทนต่อสารเคมี นิยมใช้ในงานเคลือบผิว วัสดุปิดผนึก และการผลิตชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ที่ต้องการความเสถียรภาพสูง นอกจากนี้ยังใช้เป็นสารตัวกลางในปฏิกิริยาอัลคิลเลชันและไฮโดรซิลิเลชัน เพื่อสร้างพันธะคาร์บอน-ซิลิคอนในโมเลกุลที่ซับซ้อน