ใช้ในอุตสาหกรรมเคมีเป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์ซิลิโคนโมเลกุลที่มีโครงสร้างเฉพาะ โดยเฉพาะในงานผลิตโพลีเมอร์ที่ต้องการคุณสมบัติทนต่อความร้อนและเสถียรภาพทางเคมีสูง มักนำไปใช้ในสูตรสารเคลือบผิว น้ำยาป้องกันการซึมของน้ำ และวัสดุอิเล็กทรอนิกส์ที่ต้องการความบริสุทธิ์สูง นอกจากนี้ยังใช้เป็นตัวเชื่อม (coupling agent) เพื่อปรับปรุงการยึดติดระหว่างพื้นผิวของวัสดุอนินทรีย์กับอินทรีย์ เช่น ในระบบเรซินหรือยางซิลิโคน