ใช้ในอุตสาหกรรมเคมีเป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์สารประกอบซิลิโคนและโพลีเมอร์ที่มีซิลิคอน-คาร์บอน เช่น ซิลิโคนเรซินและวัสดุเคลือบผิว นิยมใช้ในกระบวนการผลิตวัสดุที่ต้องการความทนทานต่อความร้อนและความชื้น มีบทบาทในเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์สำหรับการเคลือบบางชนิด และสามารถใช้เป็นตัวลดหรือตัวทำให้เกิดปฏิกิริยาในสังเคราะห์อินทรีย์ โดยเฉพาะในปฏิกิริยาที่ต้องการการควบคุมโครงสร้างโมเลกุลสูง