ใช้หลักๆ เป็นสารกลางทางเคมีในการผลิตโพลิเมอร์และเรซินฐานซิลิคอน โดยมีบทบาทในการสังเคราะห์ไซเลนและไซลอกเซน ซึ่งเป็นส่วนประกอบสำคัญในการผลิตของเหลวซิลิโคน ยาง และเรซิน

นิยมใช้เป็นสารเชื่อมข้ามพันธะ (cross-linking agent) ในระบบซิลิโคน vulcanizing ที่อุณหภูมิห้อง (RTV) เพื่อเพิ่มความทนทานและความต้านทานน้ำ

ยังใช้เป็นสารปรับสภาพพื้นผิวเพื่อให้วัสดุเช่น แก้ว เซรามิก และสิ่งทอ มีคุณสมบัติกันน้ำ

มีบทบาทในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์สำหรับการสะสมฟิล์มที่มีซิลิคอนผ่านกระบวนการ deposition ไอเคมี (CVD)

ความไวต่อความชื้นทำให้มีประสิทธิภาพในการสร้างชั้นเคลือบ hydrophobic แต่ต้องจัดการอย่างระมัดระวังเนื่องจากผลพลอยได้ที่กัดกร่อน