ใช้เป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์สารประกอบซิลิกอนชนิดต่าง ๆ ในอุตสาหกรรมเคมี เนื่องจากมีกลุ่มฟังก์ชันที่สามารถทำปฏิกิริยาได้หลากหลาย โดยเฉพาะในกระบวนการผลิตสารเคลือบผิวและสารปรับสภาพพื้นผิว ที่ช่วยเพิ่มการยึดเกาะระหว่างวัสดุต่างชนิดกัน นอกจากนี้ ยังนำมาใช้ในกระบวนการผลิตโพลิเมอร์และเรซินเพื่อปรับปรุงคุณสมบัติทางกายภาพ เช่น ความทนทานต่อความร้อนและสารเคมี ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ ใช้เป็นสารเคลือบเพื่อป้องกันการกัดกร่อนและเพิ่มประสิทธิภาพของอุปกรณ์