ใช้เป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์สารประกอบซิลิกอนอินทรีย์ ซึ่งมีบทบาทสำคัญในอุตสาหกรรมเคมีและวัสดุ ใช้ในกระบวนการเคลือบผิวเพื่อเพิ่มความทนทานและคุณสมบัติทางกายภาพของวัสดุต่างๆ เช่น พอลิเมอร์และแก้ว นอกจากนี้ยังใช้ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์เพื่อปรับปรุงประสิทธิภาพของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ และใช้เป็นสารช่วยในกระบวนการผลิตสารหล่อลื่นและสารเคลือบป้องกัน