เอทอกซีไตรเมทิลซิลานถูกใช้หลักๆ เป็นสารจับคู่ (coupling agent) ในการผลิตเรซินซิลิโคนและวัสดุฐานซิลิโคนอื่นๆ โดยช่วยอำนวยความสะดวกในการจับคู่ระหว่างวัสดุอินทรีย์และอนินทรีย์ เพื่อเพิ่มประสิทธิภาพของสารเคลือบ สารยึดเกาะ และสารยาแนว ในอุตสาหกรรมก่อสร้าง ถูกนำมาใช้เพื่อปรับปรุงการยึดเกาะและความทนทานของสารยาแนวคอนกรีตและสารกันน้ำ นอกจากนี้ ยังทำหน้าที่เป็นสารปรับเปลี่ยนพื้นผิวในการผลิตสารเติมแต่งและเม็ดสี เพื่อให้เกิดการกระจายตัวและความเสถียรที่ดีขึ้นในสูตรต่างๆ ในภาคอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ ถูกใช้เป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์สารประกอบที่มีซิลิกอน ซึ่งจำเป็นสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และวัสดุฉนวน ความสามารถในการทำหน้าที่เป็นสารเชื่อมขวาง (crosslinking agent) ยังทำให้มีคุณค่าต่อการผลิตยางยืดประสิทธิภาพสูงและเรซิน