ไตรเอทิลซิลานอลถูกใช้อย่างแพร่หลายเป็นสารปรับปรุงพื้นผิวในการผลิตวัสดุพื้นฐานซิลิกา โดยช่วยเพิ่มความเป็นไฮโดรโฟบิกของพื้นผิว ทำให้มีคุณค่าในชั้นเคลือบและสารยาแนวสำหรับวัสดุก่อสร้าง ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ มันทำหน้าที่เป็นส่วนประกอบหลักในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งช่วยปรับปรุงการยึดเกาะและความเสถียรของฟิล์มบาง นอกจากนี้ ยังถูกนำมาใช้ในการสังเคราะห์สารประกอบออร์กาโนซิลิกอน ซึ่งจำเป็นสำหรับการสร้างโพลิเมอร์ซิลิโคนและเรซิน ความสามารถในการทำหน้าที่เป็นสารเชื่อมโยง (coupling agent) ยังทำให้มีประโยชน์ในการเสริมความแข็งแกร่งของวัสดุคอมโพสิต โดยเฉพาะในภาคยานยนต์และการบินอวกาศ