สารนี้ถูกนำไปใช้เป็นสารปรับปรุงพื้นผิวสำหรับวัสดุต่างๆ โดยเฉพาะในอุตสาหกรรมโพลิเมอร์และคอมโพสิต เนื่องจากมีกลุ่มไตรเอทอกซีซิลิลที่สามารถทำปฏิกิริยากับพื้นผิวของวัสดุ เช่น แก้ว โลหะ หรือเซรามิก เพื่อเพิ่มการยึดเกาะและความเข้ากันได้กับสารเมทริกซ์โพลิเมอร์ นอกจากนี้ยังใช้เป็นสารตัวกลางในการสังเคราะห์วัสดุไฮบริดที่มีสมบัติเฉพาะตัว เช่น ความทนทานต่อความร้อนและสารเคมี รวมถึงการปรับปรุงสมบัติทางไฟฟ้าและกลไกของวัสดุ