Triethoxy(pentafluorophenyl)silane ใช้กันอย่างแพร่หลายเป็นสารปรับเปลี่ยนพื้นผิว โดยเฉพาะในสาขาวิทยาศาสตร์วัสดุ ใช้ในการปรับเปลี่ยนคุณสมบัติพื้นผิวของพื้นฐานต่างๆ เช่น กระจก โลหะ และโพลิเมอร์ เพื่อให้มีคุณสมบัติกันน้ำหรือนำเข้าชนิดกลุ่มฟังก์ชันเฉพาะ สารเคมีนี้ยังใช้ในการเตรียมสารเคลือบขั้นสูงที่ให้ความต้านทานต่อปัจจัยสิ่งแวดล้อม เช่น ความชื้นและการกัดกร่อน ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ มันทำหน้าที่เป็นส่วนประกอบหลักในการผลิตวัสดุที่มีค่าคงที่ไดอิเล็กทริกต่ำ ซึ่งจำเป็นสำหรับการปรับปรุงประสิทธิภาพของอุปกรณ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ นอกจากนี้ ยังใช้ในการสังเคราะห์ซิลิโคนพิเศษและเป็นสารคัปปลิ้งเอเจนต์ในวัสดุคอมโพสิตเพื่อเพิ่มการยึดเกาะระหว่างเฟสอินทรีย์และอนินทรีย์ กลุ่มพентаฟลูออโรฟีนิลของมันทำให้มีประโยชน์เป็นพิเศษในงานที่ต้องการความเสถียรทางเคมีและปฏิกิริยาใต้สภาวะรุนแรง