ใช้ในอุตสาหกรรมเคมีเป็นสารตั้งต้นสำหรับการสังเคราะห์สารประกอบออร์แกโนซิลิกอนที่มีโครงสร้างพิเศษ ซึ่งมีความสำคัญในการผลิตวัสดุโพลิเมอร์ที่มีคุณสมบัติทนต่อความร้อนและสารเคมีได้ดี นิยมนำไปใช้ในงานเคลือบผิว อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ และเป็นตัวทำหน้าที่เชื่อมระหว่างพื้นผิวโลหะกับโพลิเมอร์เพื่อเพิ่มความแข็งแรงในการยึดเกาะ นอกจากนี้ยังมีการใช้ในงานวิจัยด้านวัสดุศาสตร์เพื่อพัฒนาสารใหม่ที่มีคุณสมบัติพิเศษสำหรับอุปกรณ์เซนเซอร์และออพติคัล