ใช้ในอุตสาหกรรมเคมีเป็นสารตั้งต้นในการผลิตซิลิโคนเรซินและโพลีเมอร์ที่มีซิลิคอนเป็นองค์ประกอบหลัก เนื่องจากมีหมู่คลอรีนที่ทำปฏิกิริยาได้ง่าย จึงเหมาะสำหรับการเชื่อมโยงหรือดัดแปลงโครงสร้างโมเลกุลในกระบวนการสังเคราะห์ นิยมใช้ในงานเคลือบผิว วัสดุกันน้ำ และการผลิตสารเคมีเฉพาะทางที่ต้องการความทนทานต่อความร้อนและความชื้น