ใช้เป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์สารประกอบซิลิโคนที่มีคุณสมบัติพิเศษ โดยเฉพาะในอุตสาหกรรมวัสดุเคลือบผิว เนื่องจากสามารถสร้างฟิล์มเคลือบที่ทนต่อความชื้นและสารเคมีได้ดี นิยมนำมาใช้ในกระบวนการเคลือบวัสดุอิเล็กทรอนิกส์เพื่อป้องกันความเสียหายจากสิ่งแวดล้อม นอกจากนี้ยังใช้เป็นตัวเชื่อม (coupling agent) ในการปรับปรุงการยึดติดระหว่างพื้นผิวของวัสดุอนินทรีย์กับโพลิเมอร์อินทรีย์ เช่น ในเรซินหรือยางซิลิโคน ทำให้ผลิตภัณฑ์มีความทนทานและอายุการใช้งานยาวนานขึ้น