ใช้ในอุตสาหกรรมเคมีเป็นสารตั้งต้นสำหรับการสังเคราะห์โพลีเมอร์ที่มีคุณสมบัติทนต่อความร้อนและทนต่อสารเคมี โดยเฉพาะในผลิตภัณฑ์ซิลิโคนชนิดพิเศษ เช่น เรซิน หรือสารเคลือบที่ต้องการความคงทนสูง นิยมใช้ในงานเคลือบผิว วัสดุอิเล็กทรอนิกส์ และอุปกรณ์ที่ต้องสัมผัสกับสภาพแวดล้อมรุนแรง นอกจากนี้ยังใช้เป็นตัวเชื่อม (coupling agent) เพื่อเพิ่มการยึดเกาะระหว่างพื้นผิวของวัสดุอนินทรีย์กับอินทรีย์ เช่น ในคอมโพสิตหรือสารผสมที่มีซิลิกาหรือแก้วเป็นส่วนประกอบ