ใช้เป็นสารตั้งต้นสำคัญในการสังเคราะห์โพลิเมอร์ฐานซิลิคอนและสารออร์แกโนซิลิคอนพิเศษ หมู่ไซล็อกซีที่ทำปฏิกิริยาได้ช่วยให้เกิดการเชื่อมขวางและการฟังก์ชันนัไลเซชันในเรซินซิลิโคน ซึ่งช่วยเพิ่มความเสถียรทางความร้อนและคุณสมบัติทางกล นิยมใช้ในงานวิจัยเพื่อพัฒนาสารตั้งต้นใหม่สำหรับวัสดุเซรามิกและในการเตรียมสารเคลือบไฮบริดออร์แกนิก-อนินทรีย์ ยังใช้ในระบบปล่อยสารแบบควบคุมและเป็นรีเอเจนต์ในปฏิกิริยาไซลิเลชันแบบกำหนดทิศทาง เนื่องจากมีปฏิกิริยาเลือกเฉพาะภายใต้สภาวะอ่อน