ใช้ในอุตสาหกรรมวัสดุอิเล็กทรอนิกส์ โดยเฉพาะในชั้นนำไฟฟ้าของอุปกรณ์แสดงผลแบบบาง เช่น OLED และทรานซิสเตอร์ฟิล์มบาง (TFT) เนื่องจากมีความเสถียรทางความร้อนและความสามารถในการนำไฟฟ้าที่ดี นอกจากนี้ยังใช้เป็นสารตั้งต้นในการเคลือบผิวด้วยกระบวนการ CVD หรือ ALD เพื่อสร้างฟิล์มบางของออกไซด์ที่มีคุณสมบัติเป็นฉนวนหรือกึ่งตัวนำในชิ้นส่วนไมโครอิเล็กทรอนิกส์ ยังมีการศึกษาในการใช้เป็นสารเรืองแสงในระบบเซนเซอร์บางชนิดที่ต้องการการตอบสนองต่อแสงหรือความร้อน