(4-Fluorophenyl)diphenylsulfonium triflate ใช้เป็นสารเริ่มต้นในกระบวนการโฟโตลิโทกราฟี (Photolithography) สำหรับการผลิตวงจรอิเล็กทรอนิกส์และอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ โดยสารนี้ทำหน้าที่เป็นสารไวแสง (Photoacid generator) ที่เมื่อได้รับแสงจะปล่อยกรดออกมา ทำให้เกิดการเปลี่ยนแปลงในวัสดุไวแสง (Photoresist) ซึ่งเป็นขั้นตอนสำคัญในการสร้างรูปแบบบนแผ่นเวเฟอร์ นอกจากนี้ยังมีการนำไปใช้ในงานวิจัยทางเคมีเพื่อศึกษาปฏิกิริยาที่เกี่ยวข้องกับกรดและกระบวนการโฟโตเคมี