ใช้หลักๆ เป็นสารสร้างกรดจากแสง (photoacid generator) ในกระบวนการลิโทกราฟี โดยเฉพาะในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ สารนี้มีบทบาทสำคัญในการผลิตอุปกรณ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ ทำให้สามารถสร้างลวดลายที่แม่นยำบนเวเฟอร์ซิลิคอน สารประกอบนี้สร้างกรดเมื่อถูกแสงอัลตราไวโอเลต ซึ่งช่วยในการพัฒนาภาพความละเอียดสูงบนวัสดุ photoresist นอกจากนี้ ยังมีคุณค่าจากความเสถียรทางความร้อนและความละลายในตัวทำละลายอินทรีย์ ทำให้เหมาะสำหรับเทคนิคลิโทกราฟีขั้นสูง การประยุกต์ใช้ขยายไปถึงการผลิตวงจรรวมและส่วนประกอบระดับนาโนอื่นๆ ซึ่งมีส่วนช่วยในการย่อขนาดและเพิ่มประสิทธิภาพของอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์