ใช้เป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์วัสดุประเภทซิลิกอน-ไนไตรด์ (Si-N) และซิลิกอน-คาร์ไบด์ (Si-C) ซึ่งมีคุณสมบัติทนความร้อนสูงและมีความแข็งแรงทางกลที่ดี เหมาะสำหรับการผลิตเซรามิกขั้นสูงและวัสดุคอมโพสิต นอกจากนี้ยังใช้ในกระบวนการเคลือบผิวเพื่อเพิ่มความทนทานต่อการกัดกร่อนและความทนทานต่ออุณหภูมิสูงในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์และอวกาศ อีกทั้งยังมีบทบาทในการพัฒนาวัสดุนาโนสำหรับการใช้งานในด้านพลังงานและสิ่งแวดล้อม