ใช้เป็นตัวทำละลายในกระบวนการผลิตสารเคมีที่ต้องการความบริสุทธิ์สูง โดยเฉพาะในอุตสาหกรรมไฟฟ้าและอิเล็กทรอนิกส์ เนื่องจากมีคุณสมบัติไม่ไวต่อการเกิดปฏิกิริยาและระเหยง่าย จึงเหมาะสำหรับการทำความสะอาดชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ที่ละเอียดอ่อน นอกจากนี้ยังใช้ในระบบทำความเย็นบางประเภทและเป็นส่วนผสมในก๊าซที่ใช้ในงานด้านการแพทย์ เช่น ยาสลบที่ต้องการการควบคุมการออกฤทธิ์อย่างแม่นยำ