ใช้เป็นสารตั้งต้นในการผลิตวัสดุฐานซิลิกา เช่น ซิลิกาเจลและวัสดุซิลิกอนชนิดต่างๆ เนื่องจากสามารถเกิดปฏิกิริยาไฮโดรไลซิสได้ง่าย ทำให้เกิดโครงข่ายซิลิคอน-ออกซิเจนที่มีความเสถียรสูง นิยมใช้อย่างแพร่หลายในการผลิตสารเคลือบ กาว และยาแนว เพื่อเพิ่มความทนทานและความต้านทานน้ำ ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ ใช้เป็นส่วนประกอบสำคัญในการผลิตชั้นฉนวนและสารเคลือบป้องกันสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ นอกจากนี้ยังใช้ในการสังเคราะห์วัสดุ sol-gel สำหรับการประยุกต์ใช้ทางแสงและเซรามิก ช่วยสร้างพื้นผิวที่กันน้ำได้ ทำให้มีคุณค่าในการกันน้ำสำหรับสิ่งทอและวัสดุก่อสร้าง ในด้านนาโนเทคโนโลยี ใช้ในการผลิตอนุภาคนาโนและวัสดุโครงสร้างนาโนสำหรับการวิจัยขั้นสูงและวัตถุประสงค์อุตสาหกรรม