ใช้เป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์สารประกอบซิลิกอนต่าง ๆ ในอุตสาหกรรมเคมี ช่วยในการผลิตวัสดุที่มีคุณสมบัติพิเศษ เช่น สารเคลือบป้องกันน้ำและความชื้น นิยมใช้ในกระบวนการปรับแต่งพื้นผิวเพื่อเพิ่มความต้านทานต่อสารเคมีและความทนทาน มีบทบาทสำคัญในการผลิตโพลิเมอร์และเรซินที่มีความเสถียรสูง ใช้ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์เพื่อสร้างชั้นฟิล์มบางสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ เป็นส่วนประกอบในสารช่วยยึดเกาะและสารเคลือบผิวสำหรับวัสดุต่าง ๆ