Tris(tert-butoxy)silanol ถูกใช้เป็นสารปรับแต่งพื้นผิวในการผลิตวัสดุ 기반ซิลิกา ซึ่งช่วยเพิ่มความกลัวน้ำและความเสถียรของสารเคลือบ ทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานที่กันน้ำ นอกจากนี้ยังใช้ในการสังเคราะห์เซรามิกขั้นสูงและนาโนคอมโพสิต โดยทำหน้าที่เป็นสารตั้งต้นเพื่อปรับปรุงคุณสมบัติของวัสดุ เช่น ความต้านทานความร้อนและความแข็งแรงทางกล ในด้านอิเล็กทรอนิกส์ มันทำหน้าที่เป็นวัสดุชั้นไดอิเล็กทริกในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งช่วยในการย่อขนาดและเพิ่มประสิทธิภาพของส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ นอกจากนี้ยังใช้ในการเตรียมตัวเร่งปฏิกิริยา โดยปรับแต่งพื้นผิวของวัสดุรองรับเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพการเร่งปฏิกิริยาและความเลือกสรรในการเกิดปฏิกิริยาเคมี