ใช้ในอุตสาหกรรมเคมีเป็นสารตั้งต้นในการผลิตซิลิโคนและสารประกอบซิลิคอนอินทรีย์อื่นๆ โดยทำหน้าที่เป็นตัวทำให้เกิดการเชื่อมต่อหรือการเติมหมู่ฟังก์ชันในโมเลกุล เช่น การผลิตสารเคลือบผิว สารกันน้ำ หรือสารลดแรงตึงผิว นอกจากนี้ยังใช้ในกระบวนการสังเคราะห์สารอินทรีย์ที่ต้องการหมู่ซิลิลเป็นหมู่ป้องกัน (protecting group) โดยเฉพาะในสังเคราะห์ยาและสารชีวภาพ ด้วยคุณสมบัติที่ทำให้เกิดพันธะได้ง่ายกับออกซิเจนและไนโตรเจน จึงเป็นสารสำคัญในห้องปฏิบัติการวิจัยและอุตสาหกรรมเคมีขั้นสูง