ใช้เป็นสารตั้งต้นในกระบวนการ deposition ไอระเหยเคมีแบบโลหะออร์แกนิก (MOCVD) สำหรับการสะสมฟิล์มบางที่มีกาดโอลิเนียมในงานเซมิคอนดักเตอร์และการเคลือบทางแสง คุณสมบัติการระเหยสูงและความเสถียรทางความร้อนทำให้เหมาะสำหรับการสร้างฟิล์มบริสุทธิ์สูงในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ นอกจากนี้ยังใช้ในงานวิจัยสำหรับการสังเคราะห์วัสดุที่ doped ด้วยกาดโอลิเนียมที่มีคุณสมบัติแม่เหล็กหรือเรืองแสง มีความไวต่อความชื้นและออกซิเจน จึงนิยมใช้ในสภาวะไม่มีน้ำและอากาศ