ใช้เป็นสารตั้งต้นหลักในการสะสมไอทางเคมีแบบออร์กาโนเมทัลลิก (MOCVD) สำหรับการสร้างชั้นฟิล์มบางที่มีส่วนประกอบของพลาตินัม ชั้นฟิล์มเหล่านี้ใช้ในการผลิตอุปกรณ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ รวมถึงตัวเก็บประจุและชั้นกั้นการแพร่ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ความเสถียรทางความร้อนและความเหินลอยของสารประกอบนี้ทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานที่มีความแม่นยำสูงในส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ขั้นสูง นอกจากนี้ ยังใช้ในงานวิจัยสำหรับการสังเคราะห์นาโนวัสดุและตัวเร่งปฏิกิริยาที่มีฐานเป็นพลาตินัม