ใช้ในกระบวนการผลิตวัสดุเซรามิกส์ที่มีคุณสมบัติพิเศษ เช่น วัสดุที่นำไฟฟ้าหรือกึ่งตัวนำ โดยเฉพาะในเทคโนโลยีการเคลือบผิวแบบโซล-เจล (sol-gel) ซึ่งช่วยให้ได้ฟิล์มบางที่มีความบริสุทธิ์สูงและสม่ำเสมอ นิยมใช้ในการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ เช่น ทรานซิสเตอร์ผลึกบาง (thin-film transistors) และเซนเซอร์แสง นอกจากนี้ยังใช้เป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์ออกไซด์ของกัลเลียม ซึ่งมีคุณสมบัติในการดูดซับรังสีอัลตราไวโอเลตและใช้ในอุปกรณ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์