ใช้เป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์สารประกอบอินทรีย์ที่มีกลุ่มซิลิล (silyl group) ซึ่งมีความสำคัญในกระบวนการผลิตสารเคมีเฉพาะทาง เช่น การผลิตสารป้องกันแสง UV ในผลิตภัณฑ์เครื่องสำอาง นอกจากนี้ยังใช้ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์เพื่อปรับปรุงคุณสมบัติของวัสดุเคลือบผิว และยังมีบทบาทในการสังเคราะห์โพลีเมอร์ที่มีความเสถียรสูง และวัสดุคอมโพสิตสำหรับการใช้งานในสภาพแวดล้อมที่ทนทานต่อสารเคมีและอุณหภูมิสูง