ใช้หลักๆ เป็นตัวทำละลายในงานอุตสาหกรรมเฉพาะทาง โดยเฉพาะในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์ มีประสิทธิภาพในการทำความสะอาดและขจัดคราบมันจากชิ้นส่วนที่บอบบาง เนื่องจากมีแรงตึงผิวต่ำและความเสถียรทางเคมีสูง นอกจากนี้ยังใช้เป็นของเหลวถ่ายเทความร้อนในระบบระบายความร้อน ซึ่งมีเสถียรภาพทางความร้อนดีเยี่ยมและไม่ติดไฟ คุณสมบัติเฉื่อยทำให้เหมาะสำหรับใช้ในสภาพแวดล้อมที่ต้องลดการตอบสนองทางเคมีให้เหลือน้อยที่สุด