CEF4 ถูกนำไปใช้อย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ในฐานะส่วนประกอบหลักในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และไมโครอิเล็กทรอนิกส์ คุณสมบัติของมันทำให้เหมาะสมสำหรับใช้ในกระบวนการ etching และทำความสะอาดเวเฟอร์ซิลิคอน เพื่อให้มั่นใจในความแม่นยำและประสิทธิภาพสูงในการผลิตวงจรรวม นอกจากนี้ CEF4 ยังถูกใช้ในการผลิตแผงแสดงผลแบบแบน ซึ่งช่วยในการสะสมฟิล์มบางและการกำจัดวัสดุที่ไม่ต้องการในกระบวนการผลิต ความเสถียรและปฏิกิริยาภายใต้สภาวะควบคุมทำให้เป็นวัสดุที่มีคุณค่าต่อการประยุกต์ใช้ทางเทคโนโลยีขั้นสูง