ใช้เป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์สารประกอบซิลิคอนชนิดต่าง ๆ ในอุตสาหกรรมเคมี เนื่องจากมีโครงสร้างที่สามารถทำปฏิกิริยาได้หลากหลาย โดยเฉพาะในกระบวนการผลิตวัสดุที่มีซิลิคอนเป็นส่วนประกอบหลัก เช่น ซิลิโคน และสารเคลือบป้องกัน นอกจากนี้ยังสามารถนำไปใช้ในการผลิตสารกึ่งตัวนำและอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่มีความละเอียดสูง เนื่องจากช่วยปรับปรุงคุณสมบัติทางไฟฟ้าและความทนทานของวัสดุ