ใช้เป็นสารตั้งต้นหลักในการสังเคราะห์สารประกอบอินทรีย์ โดยเฉพาะในการพัฒนาวัสดุขั้นสูงและโพลิเมอร์ มีบทบาทสำคัญในการผลิตโพลิเมอร์ฐานซิลิโคน ซึ่งถูกนำไปใช้ในสารเคลือบ กาว และยาแนว เนื่องจากมีความเสถียรทางความร้อนและทนต่อปัจจัยสิ่งแวดล้อม นอกจากนี้ ยังถูกนำไปใช้ในการสร้างสาร coupling silane พิเศษ ซึ่งช่วยเพิ่มการยึดเกาะระหว่างวัสดุอินทรีย์และอนินทรีย์ในการผลิตคอมโพสิต การประยุกต์ใช้ขยายไปยังอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ ที่ซึ่งมีส่วนช่วยในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์อื่นๆ ที่ต้องการคุณสมบัติวัสดุที่แม่นยำ