ใช้เป็นสารทำให้เกิดปฏิกิริยาซิลิเลชัน (silylating agent) ในการสังเคราะห์สารอินทรีย์เพื่อป้องกันหมู่ไฮดรอกซิลและคาร์บอกซิลในระหว่างปฏิกิริยาหลายขั้นตอน ขนาดเล็กและความระเหยง่ายทำให้เหมาะสำหรับการ derivatize สารประกอบขั้วก่อนการวิเคราะห์ด้วยก๊าซโครมาโทกราฟี (GC) เพื่อเพิ่มความเสถียรทางความร้อนและการตรวจจับได้ง่าย ใช้อย่างแพร่หลายในเคมีวิเคราะห์สำหรับการเตรียมตัวอย่างจากตัวอย่างทางชีวภาพและสิ่งแวดล้อม นอกจากนี้ยังใช้เป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์วัสดุฐานซิลิคอนและในการปรับเปลี่ยนพื้นผิวของซิลิกาเพื่อลดขั้ว