ใช้เป็นสารซิลิเลติ้ง (silylating agent) ในการสังเคราะห์อินทรีย์เพื่อนำกลุ่มไตรเมทิลซิลิล (trimethylsilyl group) เข้าไป ปกป้องแอลกอฮอล์, ฟีนอล, และกรดคาร์บอกซิลิกในระหว่างปฏิกิริยา

นำไปใช้ในการผลิตโพลิเมอร์ซิลิโคนและเรซิน โดยทำหน้าที่เป็นสารตั้งต้นสำคัญ

นำไปใช้ในอุตสาหกรรมเภสัชกรรมเพื่อปรับโครงสร้างโมเลกุลยาให้มีความเสถียรหรือการดูดซึมในร่างกายดีขึ้น

ทำหน้าที่เป็นสารเคมีในก๊าซโครมาโทกราฟีเพื่อ derivatize สารประกอบเพื่อการตรวจจับและวิเคราะห์ที่ดีขึ้น

นำไปใช้ทั่วไปในการปรับสภาพพื้นผิวของกระจกและวัสดุอื่นๆ เพื่อให้มีคุณสมบัติกันน้ำ

ใช้ในการสังเคราะห์สารประกอบออร์แกโนซิลิคอน ซึ่งมีส่วนช่วยในการผลิตสารเคลือบ, กาว, และยาแน่น

ช่วยในการเตรียมตัวเร่งปฏิกิริยาและสารเคมีพิเศษอื่นๆ ในกระบวนการอุตสาหกรรม

ต้องจัดการด้วยความระมัดระวังเนื่องจากมีปฏิกิริยาไว ต้องใช้วิธีการป้องกันความปลอดภัยที่เหมาะสม