ใช้เป็นสารซิลิเลติง (silylating agent) ในการสังเคราะห์อินทรีย์ โดยเฉพาะสำหรับการป้องกันหมู่ hydroxyl, carboxyl และ amino ในโมเลกุลที่ละเอียดอ่อน ความตอบสนองของมันเหมาะสำหรับการนำกลุ่ม trimethylsilyl (TMS) เข้าไปภายใต้สภาวะอ่อนโยน ซึ่งมีประโยชน์ในการเตรียมสารกลางสำหรับเภสัชภัณฑ์ สารเคมีเกษตร และสารเคมีละเอียด

นิยมใช้ในเคมีนิวคลีโอไซด์และสเตียรอยด์ที่ต้องการการป้องกันแบบเลือกเพศ นอกจากนี้ยังใช้ในเคมีวิเคราะห์สำหรับการ derivatization ของสารประกอบขั้วก่อนการโครมาโทกราฟีก๊าซ เพื่อปรับปรุงความผันผวนและการตรวจจับ

ทำงานได้มีประสิทธิภาพในสภาพแวดล้อมไร้น้ำ และมักเลือกใช้เพราะโปรไฟล์ปฏิกิริยาที่สะอาดค่อนข้างและความง่ายในการกำจัดผลพลอยได้