ใช้หลักๆ เป็นสารซิลิเลติงเอเจนต์ (silylating agent) ในการวิเคราะห์ทางเคมี โดยเฉพาะในก๊าซโครมาโตกราฟี (GC) และแมสสเปกโตรเมตรี (MS) โดยนำกลุ่มไตรเมทิลซิลิล (trimethylsilyl groups) มาแทนที่ไฮโดรเจนที่ทำปฏิกิริยาได้ในสารประกอบ เช่น แอลกอฮอล์ ฟีนอล กรดคาร์บอกซิลิก และอะมีน การทำให้เกิดอนุพันธ์นี้ช่วยเพิ่มความระเหย ความเสถียรทางความร้อน และความละเอียดของピーク ทำให้สารประกอบขั้วง่ายต่อการวิเคราะห์ด้วย GC-MS ใช้กันทั่วไปในการโปรไฟล์เมตาโบไลต์ การทดสอบยา และการวิเคราะห์สิ่งแวดล้อมที่ต้องการตรวจจับโมเลกุลที่มีหมู่ไฮดรอกซิลหรืออะมีน นอกจากนี้ยังใช้ในการสังเคราะห์อินทรีย์เพื่อปกป้องหมู่ฟังก์ชันระหว่างปฏิกิริยาหลายขั้นตอน