ใช้เป็นสารตั้งต้นในการผลิตสารเคลือบผิวที่มีคุณสมบัติกันน้ำและกันคราบ โดยเฉพาะในอุตสาหกรรมสิ่งทอและกระดาษ นอกจากนี้ยังใช้ในการสังเคราะห์สารประกอบซิลิกอนที่มีฟลูออรีน ซึ่งมีประโยชน์ในกระบวนการผลิตวัสดุที่มีความทนทานต่อสารเคมีและอุณหภูมิสูง เช่น ยางซิลิโคนและโพลิเมอร์ชนิดพิเศษ อีกทั้งยังสามารถนำไปใช้ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์เพื่อสร้างชั้นเคลือบป้องกันบนพื้นผิวอุปกรณ์