ใช้เป็นสารตั้งต้นในการผลิตสารประกอบซิลิกอนชนิดต่าง ๆ ที่ใช้ในอุตสาหกรรมเคมี เช่น การผลิตสารเคลือบผิว การปรับสภาพพื้นผิว และการผลิตวัสดุคอมโพสิต นอกจากนี้ยังใช้ในกระบวนการสังเคราะห์สารเคมีที่มีโครงสร้างซิลอกเซน (siloxane) ซึ่งพบการใช้งานในอุตสาหกรรมยาง สารหล่อลื่น และสารกันน้ำ อีกทั้งยังมีบทบาทสำคัญในกระบวนการผลิตสารเคลือบป้องกันและสารยึดเกาะในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์และวัสดุก่อสร้าง