ใช้หลักในการปรับเปลี่ยนพื้นผิวของวัสดุ เพื่อเพิ่มความกันน้ำและปรับปรุงคุณสมบัติการยึดเกาะในสารเคลือบ นอกจากนี้ยังใช้ในการผลิตโพลิเมอร์ซิลิโคน โดยทำหน้าที่เป็นสารกลางสำคัญ ในอุตสาหกรรมเภสัชกรรม ใช้เป็นสารอนุพันธ์สำหรับการวิเคราะห์ เพื่อช่วยในการตรวจจับและวัดปริมาณสารประกอบต่างๆ นอกจากนี้ยังใช้ในการสังเคราะห์สารเคมีพิเศษสำหรับอิเล็กทรอนิกส์ ซึ่งช่วยในการพัฒนาอุปกรณ์ที่ทนต่อความชื้น การประยุกต์ใช้ยังขยายไปถึงการสร้างพื้นผิวกันน้ำในสิ่งทอและวัสดุก่อสร้าง