ใช้เป็นสารตั้งต้นในการผลิตซิลิโคนและสารประกอบซิลิคอนอื่นๆ เนื่องจากมีความสามารถในการทำปฏิกิริยากับสารประกอบที่มีกลุ่มไฮดรอกซิล (OH) เพื่อสร้างพันธะซิลิคอน-ออกซิเจน (Si-O) นอกจากนี้ยังใช้ในกระบวนการเคลือบผิวเพื่อปรับปรุงคุณสมบัติทางกายภาพและเคมีของวัสดุ เช่น การเพิ่มความต้านทานต่อน้ำและสารเคมี ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ ใช้ในการผลิตสารเคลือบป้องกันและสารเคลือบฉนวนสำหรับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ เพื่อเพิ่มประสิทธิภาพและอายุการใช้งานของอุปกรณ์