ใช้เป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์สารประกอบซิลิกอนอินทรีย์อื่นๆ โดยเฉพาะในอุตสาหกรรมผลิตสารเคลือบผิวและวัสดุคอมโพสิต ช่วยเพิ่มการยึดเกาะระหว่างพื้นผิวกับสารเคลือบ นอกจากนี้ยังใช้ในกระบวนการปรับเปลี่ยนพื้นผิวของสารเติมแต่งในโพลิเมอร์เพื่อปรับปรุงสมบัติทางกลและความทนทานของวัสดุ ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ ใช้ในการผลิตสารเคลือบป้องกันสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ และยังมีบทบาทในกระบวนการผลิตแก้วและเซรามิกส์เพื่อปรับปรุงความเสถียรและประสิทธิภาพของผลิตภัณฑ์