สารนี้มักใช้เป็นสารตั้งต้นหรือส่วนประกอบในการสังเคราะห์สารซิลิโคนชนิดต่าง ๆ โดยเฉพาะในกระบวนการผลิตโพลิเมอร์ซิลิโคนที่มีความเสถียรสูงและทนต่ออุณหภูมิ มักพบการใช้งานในอุตสาหกรรมเคลือบผิว เพื่อสร้างชั้นป้องกันความชื้นหรือสารเคมี นอกจากนี้ยังใช้ในกระบวนการผลิตสารหล่อลื่นและสารหล่อเย็นในระบบเครื่องจักรที่มีความร้อนสูง เนื่องจากมีคุณสมบัติทนความร้อนได้ดี อีกทั้งยังถูกนำไปใช้ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์เพื่อเป็นส่วนประกอบในการผลิตวัสดุฉนวนหรือสารเคลือบป้องกันสำหรับชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์