สารนี้ใช้เป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์สารประกอบออร์กาโนซิลิคอน โดยทำหน้าที่เป็นสารกลางสำคัญในการผลิตโพลิเมอร์และเรซินซิลิโคน นอกจากนี้ยังใช้ในกระบวนการปรับปรุงพื้นผิวเพื่อเพิ่มการยึดเกาะและความทนทานของสารเคลือบบนพื้นผิวต่างๆ ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ ใช้ในการสะสมฟิล์มบางที่เป็นฐานซิลิคอน ซึ่งมีความสำคัญต่อการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ นอกจากนี้ยังนำไปใช้ในการสร้างพื้นผิวกันน้ำและเป็นสารตั้งต้นสำหรับสารเคมีเฉพาะทางในการสังเคราะห์อินทรีย์