ใช้เป็นสารซิลิเลติ้งเอเจนต์ในการสังเคราะห์สารอินทรีย์ โดยเฉพาะในการปกป้องหมู่ออกซิฮายดรอกซิลและอะมิโนระหว่างปฏิกิริยาหลายขั้นตอน หมู่คลอโรเมทิลของมันช่วยให้สามารถทำการเชื่อมขวางเพิ่มเติมหรือยึดติดกับตัวรองรับของแข็ง ทำให้มีคุณค่าในการเตรียมซิลิกาเจลที่ถูกฟังก์ชันนาไลซ์หรือเรซินโพลิเมอร์สำหรับการเร่งปฏิกิริยาและโครมาโทกราฟี ใช้กันทั่วไปในการผลิตซิลาเนสพิเศษสำหรับกาว เคลือบผิว และยาแนวที่ซึ่งความต้านทานความชื้นและการส่งเสริมการยึดเกาะเป็นสิ่งสำคัญ นอกจากนี้ยังใช้ในการสังเคราะห์สารกลางสำหรับเภสัชภัณฑ์และสารเคมีเกษตรเนื่องจากความเลือกเฉพาะของปฏิกิริยาและความเสถียรภายใต้สภาวะที่ควบคุมได้