ใช้เป็นตัวทำให้เกิดปฏิกิริยาซิลิเลชัน (silylation) โดยทำหน้าที่เป็นแหล่งของกลุ่มเบนซิลซิลิล (Benzylsilyl group) ในการป้องกันหมู่ -OH โดยเฉพาะในสารอัลกอฮอล์และฟีนอลในกระบวนการสังเคราะห์อินทรีย์ ช่วยป้องกันไม่ให้หมู่ฟังก์ชันนั้นทำปฏิกิริยาต่อไปในขั้นตอนอื่น ๆ ได้ เนื่องจากกลุ่มที่เกิดขึ้นมีความคงตัวต่อสภาวะกรด-เบสในระดับปานกลาง และสามารถกำจัดออกได้ภายหลังด้วยการใช้กรดหรือตัวเร่งปฏิกิริยาเฉพาะ นอกจากนี้ยังใช้ในปฏิกิริยาสร้างพันธะคาร์บอน-ซิลิคอน เพื่อสร้างสารตั้งต้นในอุตสาหกรรมซิลิโคน และใช้เป็นตัวเชื่อมผิว (coupling agent) ในการปรับปรุงการยึดติดระหว่างวัสดุอินทรีย์กับอนินทรีย์ โดยเฉพาะในระบบเคลือบผิวหรือสารประกอบเรซินที่ต้องการความทนทานต่อความชื้นและแรงยึดเกาะสูง