ใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เป็นวัสดุฉนวนชนิดหนึ่งที่มีค่าคงที่ไดอิเล็กตริกสูง (high-k dielectric) ซึ่งช่วยลดการรั่วของกระแสไฟฟ้าในทรานซิสเตอร์ขนาดเล็ก ทำให้ชิปคอมพิวเตอร์มีประสิทธิภาพสูงขึ้นและประหยัดพลังงานมากขึ้น นอกจากนี้ยังใช้ในเลเซอร์ อุปกรณ์ออปติคัล และเป็นวัสดุเคลือบที่ทนต่ออุณหภูมิสูงและสารเคมีกัดกร่อนในอุตสาหกรรมการบินและอวกาศ