ใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เป็นวัสดุฉนวนชนิดหนาที่มีค่าไดอิเล็กทริกสูง (high-k dielectric) ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพของทรานซิสเตอร์ขนาดเล็ก โดยเฉพาะในชิปคอมพิวเตอร์รุ่นใหม่ที่ต้องการการควบคุมกระแสไฟฟ้าอย่างแม่นยำ ลดการรั่วของกระแสไฟฟ้าเมื่ออุปกรณ์ทำงานที่ความเร็วสูง นิยมใช้ในกระบวนการผลิตวงจรอิเล็กทรอนิกส์ระดับนาโน เช่น โปรเซสเซอร์จากบริษัทใหญ่ๆ ที่ต้องการความจุสูงในพื้นที่เล็ก นอกจากนี้ยังใช้เป็นวัสดุเคลือบผิวในอุปกรณ์ที่ต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและรังสี เช่น ในอุตสาหกรรมพลังงานนิวเคลียร์ หรือเลเซอร์กำลังสูง เนื่องจากมีความเสถียรภาพทางเคมีและทนต่อการกัดกร่อนได้ดี ยังมีการวิจัยในการใช้เป็นวัสดุในเซลล์แสงอาทิตย์ชนิดใหม่ และในระบบจัดเก็บพลังงานเนื่องจากคุณสมบัติในการนำไฟฟ้าและความสามารถในการเก็บประจุ