เบอริลเลียมออกไซด์ถูกใช้ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์เป็นหลัก เนื่องจากมีคุณสมบัติในการนำความร้อนได้ดีมาก แต่ไม่นำไฟฟ้า จึงเหมาะสำหรับใช้เป็นวัสดุกระจายความร้อนในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่ต้องการระบายความร้อนสูง เช่น ทรานซิสเตอร์ วงจรรวม และอุปกรณ์คลื่นความถี่วิทยุ นอกจากนี้ยังใช้ในอุตสาหกรรมเซรามิกส์ที่ต้องการวัสดุทนความร้อนสูงและมีความแข็งแรง เช่น ชิ้นส่วนในเตาหลอม หรืออุปกรณ์ในอุตสาหกรรมการบินและอวกาศ วัสดุนี้ยังมีความเสถียรภาพทางเคมีและทนต่อการกัดกร่อนได้ดี ในบางกรณี เบอริลเลียมออกไซด์ถูกใช้ในอุปกรณ์ตรวจวัดรังสี เช่น เซ็นเซอร์ตรวจจับนิวตรอน เนื่องจากมีคุณสมบัติในการโต้ตอบกับรังสีได้ดี อย่างไรก็ตาม การใช้งานต้องระมัดระวังมาก เพราะฝุ่นของเบอริลเลียมออกไซด์เป็นพิษและอาจก่อให้เกิดโรคปอดเรื้อรังหากสูดดมเข้าไป